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隔振光學(xué)平臺選型攻略:2025年實驗室設(shè)備指南
更新時間:2025-09-15瀏覽:191次

隔振光學(xué)平臺是一種用于精密光學(xué)實驗和測量的關(guān)鍵設(shè)備,主要功能是隔離外界振動干擾,為光學(xué)元件提供穩(wěn)定的工作環(huán)境。

一.工作原理

1.氣浮隔振:利用壓縮氣體作為支撐和隔振介質(zhì),通過氣體彈簧和阻尼系統(tǒng)來隔離振動。氣浮支撐腿內(nèi)部充滿壓縮氣體,可調(diào)節(jié)氣壓控制平臺剛度和固有頻率,阻尼系統(tǒng)則通過氣體流動或粘滯阻尼材料吸收振動能量,自動調(diào)平系統(tǒng)通過傳感器和氣壓調(diào)節(jié)保持平臺水平穩(wěn)定。

2.低頻高阻尼隔振:采用超軟剛度支撐,如特殊設(shè)計的空氣彈簧、磁懸浮或復(fù)合彈性材料,將系統(tǒng)固有頻率降至 0.5-2Hz,遠(yuǎn)低于普通建筑物振動頻率,同時在平臺結(jié)構(gòu)中加入粘彈性聚合物等復(fù)合阻尼材料,或配備主動 / 半主動阻尼裝置,快速消耗振動能量,抑制共振。

二.結(jié)構(gòu)組成

1.臺面:通常采用蜂窩結(jié)構(gòu)或金屬復(fù)合材料,如鋁合金、不銹鋼等,兼顧輕量化和高剛性,表面有高精度平面度,部分臺面有螺紋孔,便于安裝光學(xué)元件。

2.隔振系統(tǒng):包括被動隔振和主動隔振(可選)。被動隔振使用彈性元件支撐臺面,主動隔振通過傳感器實時檢測振動,用電動機或壓電陶瓷產(chǎn)生反向力抵消振動。

3.阻尼層:在臺面或支撐結(jié)構(gòu)中填充粘彈性材料,如聚氨酯、丁基橡膠等,將振動能量轉(zhuǎn)化為熱能耗散。

三.關(guān)鍵性能參數(shù)

1.固有頻率:被動隔振平臺典型值為 0.5-5Hz,頻率越低,隔振效果越好,尤其對低頻振動。

2.阻尼比:表征振動衰減速度,一般設(shè)計為臨界阻尼的 20%-30%,避免共振放大。

3.振幅穩(wěn)定性:衡量平臺在振動環(huán)境下保持穩(wěn)定的能力,高*平臺可將外界振動衰減至原振幅的 1/100 以下。

4.臺面平整度:通常要求≤0.1mm/m2,確保光學(xué)元件對準(zhǔn)精度。

四.應(yīng)用領(lǐng)域

1.光學(xué)科研實驗:如激光干涉測量、原子力 / 電子顯微鏡、量子光學(xué)實驗、引力波探測等。

2.精密制造:光刻設(shè)備、精密光學(xué)裝配等對振動敏感的制造工藝。

3.生物顯微成像:為生物顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境,確保成像質(zhì)量。

五.選型注意事項

1.負(fù)載匹配:根據(jù)實驗設(shè)備重量選擇合適承載能力的平臺,避免過載或剛度不足。

2.環(huán)境評估:預(yù)先測量實驗室振動頻譜,針對性選擇隔振頻率范圍。

3.安裝位置:盡量遠(yuǎn)離振源,如通風(fēng)設(shè)備、電梯等,必要時搭配獨立地基。

六.產(chǎn)品推薦

卓立漢光ZVI-FT系列氣浮主動隔振平臺,面向科研與工業(yè)高敏場景,ZVIFT 是一款“6DOF 氣浮 + 主動"的寬頻隔振平臺,在 0.8–150 Hz 提供顯著衰減,適合需要超低頻抑制、自動水平與寬頻振動控制的光學(xué) / 計量 / 半導(dǎo)體應(yīng)

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• 卓*隔振性能:采用氣浮與主動隔振結(jié)合技術(shù),主動隔振帶寬 0.8 - 150Hz ,對超低頻振動抑制出色,臺面穩(wěn)定性≤±8μm ,在 2Hz、5Hz、10Hz、20Hz 處傳遞率低,隔振效果遠(yuǎn)超同類。

• 強大負(fù)載與定制能力:標(biāo)品負(fù)載 700 - 7500KG ,能滿足大型設(shè)備搭載需求。核心控制系統(tǒng)自研,支持臺面材料、厚度、孔徑、孔距等定制,適配不同實驗場景 。

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